Установка для выращивания слитков поликристаллического кремния HXH 800 N
Предназначена для выращивания слитков поликристаллического кремния для использования в фотовольтаике. Высокая производительность благодаря системе полностью автоматического управления. Также в наличии имеются фирменные графитовые детали Ferrotec.
Рабочие характеристики
| Тигель, мм |
1040х1040х480 |
| Зарядная емкость, кг |
800 |
| Размер слитка, мм |
1000х1000х365 |
| Внутренний диаметр камеры, мм |
2104 |
| Наружный диаметр камеры, мм |
2253 |
| Высота верхней камеры, мм |
2000 |
| Высота нижней камеры, мм |
1105 |
| Ход подъема камеры, мм |
1000 |
| Скорость подъема камеры, мм/мин |
1-3.5 |
| Размер |
Установка для выращивания, ШхГхВ |
3900х4910х5730 |
| Основание, ШхГ |
3900х4910 |
| Установочная высота |
5730 |
| Масса, кг |
Установка для выращивания, включая блок управления |
Приблизительно 13000 |
| Пульт управления оператора |
Приблизительно 50 |
| Блок электропитания |
Приблизительно 2500 |
Вакуумный насос
| Скорость создания вакуума, л/мин |
220 |
Блок электропитания
| Вход, 3 фазы, В перем. тока |
380 |
| Выход, В пост. тока TOP |
35, 2200А |
| Выход, В пост. тока SIDE |
35, 2700А |
| Частота, Гц |
50/60 |
Охлаждающая вода
| Температура на воходе |
20°C±5 |
| Скорость потока, л/мин |
Установка для вращения |
250 |
| Ректификационная колонна |
20 |
| Давление в линии нагнетания, МПа |
0.35-0.4 |
| Перепад давления, МПа |
≥0.2 |
Газообразный аргон
| Регулирование массового расхода |
100 |
| Давление в линии нагнетания, МПа |
≥0.27 |
Воздух
| Давление в линии нагнетания, МПа |
≥0.6 |
