Установка для выращивания слитков поликристаллического кремния HXH 800 N

Предназначена для выращивания слитков поликристаллического кремния для использования в фотовольтаике. Высокая производительность благодаря системе полностью автоматического управления. Также в наличии имеются фирменные графитовые детали Ferrotec.

Рабочие характеристики

Тигель, мм 1040х1040х480
Зарядная емкость, кг 800
Размер слитка, мм 1000х1000х365
Внутренний диаметр камеры, мм 2104
Наружный диаметр камеры, мм 2253
Высота верхней камеры, мм 2000
Высота нижней камеры, мм 1105
Ход подъема камеры, мм 1000
Скорость подъема камеры, мм/мин 1-3.5
Размер Установка для выращивания, ШхГхВ 3900х4910х5730
Основание, ШхГ 3900х4910
Установочная высота 5730
Масса, кг Установка для выращивания, включая блок управления Приблизительно 13000
Пульт управления оператора Приблизительно 50
Блок электропитания Приблизительно 2500

Вакуумный насос

Скорость создания вакуума, л/мин 220

Блок электропитания

Вход, 3 фазы, В перем. тока 380
Выход, В пост. тока TOP 35, 2200А
Выход, В пост. тока SIDE 35, 2700А
Частота, Гц 50/60

Охлаждающая вода

Температура на воходе 20°C±5
Скорость потока, л/мин Установка для вращения 250
Ректификационная колонна 20
Давление в линии нагнетания, МПа 0.35-0.4
Перепад давления, МПа ≥0.2

Газообразный аргон

Регулирование массового расхода 100
Давление в линии нагнетания, МПа ≥0.27

Воздух

Давление в линии нагнетания, МПа ≥0.6