Установка для выращивания слитков монокристаллического кремния FT-CZ2408BZ

Предназначена для выращивания слитков монокристаллического кремния для использования в фотовольтаике. Вакуумные уплотнители состоят из разработанных компанией Ferrotec “вводов вращения в вакуум”. В наличии также имеются фирменные расходные материалы Ferrotec, такие как графитовые детали и кварцевые тигли.

Рабочие характеристики

Модель FT-CZ2408
Размер тигля 24"
Заряд емкости, кг 150
Диаметр слитка, мм 220
Длина приемной камеры, мм 2500
Диаметр горловины, мм 360
Внутренний диаметр камеры выращиния, мм 1200
Скорость подъема затравки, мм/мин 0.2-8.9
Маршевая скорость перемещения затравки, мм/мин 500
Вращение затравки, об/мин 2-20
Скорость подъема тигля, мм/мин 0.04-1.00
Маршевая скорость перемещения тигля, мм/мин 200
Полный ход тигля, мм 700
Вращение тигля, об/мин 2-20
Размер Высота, мм В открытом состоянии 8632.7
В закрытом состоянии 8007.7
Масса, кг Установка для выращивания Приблизительно 5500
Пульт управления оператора Приблизительно 100
Блок управления Приблизительно 400
Ректификационная колона Приблизительно 2100

Вакуумный насос

Производительность в основном режиме, л/мин 7200
Производительность во вспомогательном режиме, л/мин 900

Электрические характеристики (ректификационная колонна)

Вход, 3 фазы, В перем. тока 400
Выход, В пост. тока 55, 3000А
Частота, Гц 50/60

Охлаждающая вода

Температура на входе ~25°C
Скорость потока, л/мин Установка для выращивания 400
Давление в линии нагнетания, МПа 0.3
Перепад давления, МПа 0.2

Газообразный аргон

Регулирование массового расхода, ст. л/мин 200
Давление в линии нагнетания, МПа >0.27

Воздух

Давление в линии нагнетания, МПа >0.5