Предназначена для выращивания слитков монокристаллического кремния для использования в фотовольтанике. Вакуумные уплотнители состоят из разработанных компанией Ferrotec “вводов вращения в вакуум”. В наличии также имеются фирменные расходные материалы Ferrotec, такие как графитовые детали и кварцевые тигли.
Рабочие характеристики
Модель |
FT-CZ2008A |
Размер тигля |
20" |
Зарядная емкость, кг |
95 |
Диаметр слитка |
6 inch, 8 inch |
Длина приемной камеры, мм |
2260 |
Диаметр горловины, мм |
280 |
Внутренний диаметр камеры выращиния, мм |
850 |
Скорость подъема затравки, мм/мин |
0.2-9.89 |
Маршевая скорость перемещения затравки, мм/мин |
500 |
Вращение затравки, об/мин |
2-20 |
Скорость подъема тигля, мм/мин |
0.04-3.00 |
Маршевая скорость перемещения тигля, мм/мин |
150 |
Полный ход тигля, мм |
320 |
Вращение тигля, об/мин |
2-20 |
Размер |
Высота, мм |
В открытом состоянии |
7398 |
В закрытом состоянии |
7048 |
Масса, кг |
Установка для выращивания |
Приблизительно 4500 |
Пульт управления оператора |
Приблизительно 100 |
Блок управления |
Приблизительно 400 |
Ректификационная колона |
Приблизительно 2100 |
Вакуумный насос
Скорость создания главного вакуума, л/мин |
4200 |
Скорость создания вспомогательного вакуума, л/мин |
900 |
Электрические характеристики (ректификационная колонна)
Вход, 3 фазы, В перем. тока |
380 |
Выход, В пост. тока |
55, 3000А |
Частота, Гц |
50/60 |
Охлаждающая вода
Температура на воходе |
15-25°C |
Скорость потока, л/мин |
Установка для вращения |
280-320 |
Давление в линии нагнетания, МПа |
0.3-0.4 |
Перепад давления, МПа |
0.2 |
Газообразный аргон
Регулирование массового расхода ст. л/мин |
150 |
Давление в линии нагнетания, МПа |
>0.2МПа |
Воздух
Давление в линии нагнетания, МПа |
0.6МПа |