Установка для выращивания слитков монокристаллического кремния FT-CZ2008A

Предназначена для выращивания слитков монокристаллического кремния для использования в фотовольтанике. Вакуумные уплотнители состоят из разработанных компанией Ferrotec “вводов вращения в вакуум”. В наличии также имеются фирменные расходные материалы Ferrotec, такие как графитовые детали и кварцевые тигли.

Рабочие характеристики

Модель FT-CZ2008A
Размер тигля 20"
Зарядная емкость, кг 95
Диаметр слитка 6 inch, 8 inch
Длина приемной камеры, мм 2260
Диаметр горловины, мм 280
Внутренний диаметр камеры выращиния, мм 850
Скорость подъема затравки, мм/мин 0.2-9.89
Маршевая скорость перемещения затравки, мм/мин 500
Вращение затравки, об/мин 2-20
Скорость подъема тигля, мм/мин 0.04-3.00
Маршевая скорость перемещения тигля, мм/мин 150
Полный ход тигля, мм 320
Вращение тигля, об/мин 2-20
Размер Высота, мм В открытом состоянии 7398
В закрытом состоянии 7048
Масса, кг Установка для выращивания Приблизительно 4500
Пульт управления оператора Приблизительно 100
Блок управления Приблизительно 400
Ректификационная колона Приблизительно 2100

Вакуумный насос

Скорость создания главного вакуума, л/мин 4200
Скорость создания вспомогательного вакуума, л/мин 900

Электрические характеристики (ректификационная колонна)

Вход, 3 фазы, В перем. тока 380
Выход, В пост. тока 55, 3000А
Частота, Гц 50/60

Охлаждающая вода

Температура на воходе 15-25°C
Скорость потока, л/мин Установка для вращения 280-320
Давление в линии нагнетания, МПа 0.3-0.4
Перепад давления, МПа 0.2

Газообразный аргон

Регулирование массового расхода ст. л/мин 150
Давление в линии нагнетания, МПа >0.2МПа

Воздух

Давление в линии нагнетания, МПа 0.6МПа